型号：SOLARIS
资产编号：2314922S
所属单位：有机无机复合材料全国重点实验室
放置地点：东校区科技大厦地下室A27室
仪器负责人：史小玄(2022810019)
使用状态： 正在使用
环境监测：温度：无 湿度：无
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场发射扫描电镜：1）电子枪：高性能肖特基热场发射电子枪；2）二次电子分辨率：≤0.6nm@15keV； ≤0.9nm@1keV;3）三种模式：高分辨模式，无漏磁分析模式和电子束无交叉模式；4) 加速电压范围：0.05 keV-30 keV；5）放大倍率：5倍-2000000倍。 聚焦离子束：1）分辨率：≤2.5nm@30 kV（在SEM-FIB重合点）；2）离子束能量范围：500eV-30keV；3）束流范围1pA–100nA。 飞行时间二次离子质谱；1) 可检测所有元素及其同位素；2) 检出限≤3ppm。
300元/小时
电子束成像
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